对于气体来说，纯度是衡量该气体是否优质的一个标准。氩气由于是惰性气体，可以作为制造单晶体以及多晶体的保护气体，为了提高硅晶体的质量，选择高纯度的氩气至关重要，既可以提高晶体使用寿命，还可以满足市场的需求。
氩气纯化方法：一般来说，氩气纯化过程是通过净化装置来实现，氩气纯化方法可分为直接脱氧法和吸气剂纯化法。
直接脱氧法：使用活性金属与氩气中的氧气进行反应，消化掉氩气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛选吸附掉的氩气中的水分子，纸氩气的含水量修养1ppm。
吸气剂纯化法：采用吸气净化剂或者干燥剂，吸气剂可以与氩气中微量杂质形成稳定化合物，从而达到对氩气精制的效果，使用吸气剂纯化法提纯后，纯度可高达6个9的高纯氩。
