高纯气体的净化，不仅要了解纯化剂和纯化装置的性能及作用，而且还应掌握合理的净化方法和科学工艺净化流程，方能达到纯化气体的目的。通常将气体纯化操作过程，称作气休净化工艺。除去气体中的杂质常用的净化方法有尘埃滤除法、水气干燥法、选择吸附法、催化反应法、吸收法、金属吸气法和纯化装置提纯法等。对于特种气体的净化，有精馏法、吸附精馏法、络合法、水解法、预热分解法、固体吸附法、激光纯化法和树脂净化法等。
在气体净化工艺中，合理的选择纯化剂、催化剂、干燥剂和纯化装置，净化系统的正确组合及安装，采取先进的净化方法和合理的净化工艺流程，掌握净化原则和操作要点及运行管理等，这一系列的工作是制备高纯气体的关键，是直接关系到气体净化质量的重大措施。
