高纯气体输送气体的纯度、干燥度和洁净度

气体纯度：气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如99.9999%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt表示。

干燥度：气体中微量水分的含量，或称之为湿量，通常以露点表示，如常压露点-70。C。

洁净度：气体中含有污染物粒子的数量，粒径为µm的粒子，多少粒/M3 来表示，对于压缩空气，通常也用不可避免的固体残留物的多少mg/m3来表示，其中涵盖了含油量。