水分是六氟化硫设备产生毒害物质的一个条件。如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它有害物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
（1）工作未开始之前，首先应测定现场周围环境空气相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是限制空气含水具体示数。测定如不合格，则应采取措施或重选干燥晴朗的天气进行充装。
（2）为使SF6泄漏气体及时排换，主尖在进行充装的同时开启通风机，认真遵守空气SF6含量不得超过1000ppm的规定。在工作开始后的一定时间内即应进行检测，并具体情况于中途再进行检侧。当出现SF6气体含量增高或超过标准时，应随即对部件进行详细检查，查找原因并予以消除。
