六氟化硫气体以其高耐电强度及良好的热稳定性能，被广泛应用于高压电气设备中。六氟化硫气体的化学性质极为稳定。纯净的六氟化硫气体是无毒的，但在大电流开断时，由于强烈的电弧放电会产生一些含硫的低氟化物。这些物质反应能力较强，当有水和氧气时又会与电极材料、水份进一步反应，从而分解产生有毒或剧毒气体。
这些有毒气体主要损害人体的呼吸系统，中毒后会出现类似于感冒、皮肤过敏、恶心呕吐、疲劳等不良反应，吸入剂量大时，会出现更加严重的后果。因此，在对六氟化硫设备检修和试验时，应采取以下防护措施：
(1)工作现场应强力通风，检修人员应在上风位置；
(2)配戴好防毒面具和防护手套；
(3)将排出的气体进行回收、或用导管将气体排入下水沟内，不宜直接向大气排放；
(4)工间休息前或工作结束后，脸、颈、臂和手要用肥皂和大量的水彻底洗净；
(5)六氟化硫如不慎接触到剂量较大的气体时，应立即洗净，更换衣服，及时去医院观察治疗。
