随着环境维护及污染治理的要求而迅速发展起来，分子筛变压吸附PSAPressurSwingAbsorption气体分离和提纯技术是20世纪60年代后。目前已经在钢铁生产、气体工业、电子工业、石油化工和医疗卫生等诸多行业得到广泛的应用1962年美国联合碳化物公司（UCC发现了分子筛对气体的选择性特性，并在实验设备上实现了对少数不同气体的分离；随即研制胜利了世界上第一台制氢工业装置；
随着分子筛资料与工艺的不时提升，70年代中期美国和德国首先将PSA技术应用于空气分离并在化工领域得到应用，80年代中期化学工业的发展为分子筛的性能提高起到关键作用，这使设备小型化成为可能，1985年美国的Praxair公司研制的第一台小型制氧机的问世标志着PSA技术小型化的开始，90年代初产品意义上的医用小型制氧机开始出现，美国资料实验学会1993年颁布了医用小型制氧机标准规范。
