电子信息产业的迅猛发展，促进了对电子级多晶硅产品的强烈需求，高纯度电子级多晶硅是电子信息产业和半导体集成电路产业链的初端，它的质量直接关系到最终电子产品的性能，同太阳能级多晶硅相比，电子级多晶硅的纯度要求高的多，例如德国瓦克的电子级多晶硅产品要求主要杂质硼和磷的含量分别小于0.05 ppba和0.15 ppba，而我国送审的太阳能一级多晶硅产品的硼和磷含量分别小于0.5 ppba和1.5 ppba，这说明我国太阳能一级多晶硅产品较国外电子级多晶硅产品的主要杂质含量高10倍。目前，尽管国内在建、新建和扩建的多晶硅项目多达50余家，但所生产的产品质量远达不到半导体集成电路的要求，与国外知名多晶硅企业的产品质量差距甚远。这一方面和三氯氢硅的纯度有关，另一方面和循环氢气中的有害杂质不能够得到有效去除有关。此外，近年来，LED产业的发展使得MOCVD装置对超纯氢气的需求迅猛增加。因此，研究超纯氢气廉价生产技术对于推动电子信息产业和LED产业的发展具有极其重要的意义。
附:高效金属钯复合膜及其在超纯氢气纯化的应用
