电子特气作为集成电路的重要耗材，随着中国集成电路行业的发展，关于电子特气的顶层设计引导性正在逐渐增强。国家《“十四五”规划和2035年远景目标纲要》中，基于集成电路产业化发展，对其上游关键材料电子特气的技术攻关发展予以重点支持。中国部多个省份在“十四五”期间提出若干项针对电子特气或者集成电路产业的支持型、规范性政策，给予电子特气生产技术、企业扶持、产业集群建设等方面的政策支持。
广东省科技厅日前发布关于组织申报2022年度广东省重点领域研发计划“电子化学品”重点专项项目的通知。根据《广东省重点领域研发计划“十四五”行动方案》，对半导体先进制程用电子特气的研发及产业化符合方案内容的企业进行无偿资助，资助额度不超过1500万元。
研究内容：研究半导体先进制程用氦气、溴化氢、六氟丁二烯的纯化技术；攻关氦气中氧气、碳氢杂质、水的杂质脱除技术；溴化氢中金属离子及水杂质的脱除技术，制备设备和包装物的内壁处理技术；六氟丁二烯中氟碳化合物及酸度的脱除技术，制备设备和包装物的内部处理技术，多聚物杂质的分析检测技术等。实现稳定的规模化生产，最终通过8 寸半导体微纳加工公共技术平台工艺应用验证及下游企业的应用验证。
考核指标
1、技术指标
氦气 | ≥99.9999% |
N2 | ≤0.2ppm |
O2 | ≤0.1ppm |
CO | ≤0.05ppm |
CO2 | ≤0.05ppm |
CH4 | ≤0.05ppm |
H2 | ≤0.1ppm |
H2O | ≤0.2ppm |
溴化氢 | ≥99.999% |
N2 | ≤3.0ppm |
O2 | ≤0.1ppm |
CO | ≤0.05ppm |
CO2 | ≤3.0ppm |
CH4 | ≤1.0ppm |
H2O | ≤1.0 ppm |
六氟丁二烯 | ≥99.99% |
N2 | ≤20.0ppm |
O2+Ar | ≤10.0ppm |
H2O | ≤5.0ppm |
CO2 | ≤10.0ppm |
碳氟化合物 | ≤150.0ppm |
HF | ≤5.0ppm |
异丙醇 | ≤10.0ppm |
2、产业化指标
建立一条超纯氦生产线，采用国内空分原料或俄罗斯氦源，产能2万m3/年，纯度6N。建立一条高纯溴化氢生产线，采用国内原料，产能200 吨/年，纯度5N产品。建立一条高纯六氟丁二烯生产线，产能10吨/年，纯度4N。通过第三方检测符合纯度要求，满足下游用户的制程要求。
3、其它指标
申请相关发明专利不少于5件。
申报要求
本方向采用“揭榜挂帅”方式。鼓励省内企业牵头组建创新联合体申报。完成时项目单位须提供量产后连续三批次产品一致性、考核指标测试合格的证明及应用验证报告，或非参研用户单位半年以上应用良好的评估报告，产业化生产落地须在广东企业。
来源：广东省科技厅网站
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