韩国最大的半导体设备和材料展览会“Semicon Korea 2022”于2月9日至11日在韩国首尔举办。特种气体作为半导体工艺的关键材料，其纯度要求高，技术稳定性和可靠性也都直接影响半导体制程良率。气体圈子就本次展会特气相关内容做简要介绍。
韩国特种气体制造商 Wonik Materials推出了包括High-K在内的用于硅和金属沉积的前驱体产品。随着使用EUV光源的3nm和5nm半导体技术发展，前驱体作为解决半导体工艺小型化引起的漏电流问题的材料正受到关注。为了进一步加强技术研究，Wonik Materials还建立了前驱体研发中心，开发下一代新材料，以确保其技术领先
通过不断致力于技术的研发和积极投资，Wonik Materials正在加紧推进特种气体的国产化。Wonik Materials于2021年成功将蚀刻气体羰基硫 (COS) 进行了国产化，目标是2022年6月投产，2023年向客户供货，并确保年产能200吨。目前，Wonik Materials 正在向三星电子、SK 海力士等半导体和显示器公司供应高纯度NH3、CO2、N2O、GeH4、Si2H6和Xe等多种特殊气体。
Rotarex在韩国投资900万美元的半导体气体阀门工厂，2021年第四季度开工建设，预计2022年10月左右建成投产。此外，还成立了研究院，推动为客户开发定制产品，旨在加强与韩国内半导体客户的合作并提供及时供应。今年是Rotarex成立100周年之年，其意义更加与众不同，气体圈子相信，以100年经验积累的技术能力和服务互信为基础，未来，Rotarex将会以更加有竞争力的产品解决半导体市场的供应问题。SK Materials决定追加投资至7000亿韩元，最新的2000亿韩元是与半导体显示器用高纯度氢氟酸（DHF）业务相关的新投资，之前的投资包括半导体显示蚀刻和沉积气体。
默克与2020年收购的Versum Materials设立共同展位，展示了一款用于半导体器件制造的动态气体混合器（DGM100），这是一种以客户所需比例混合并可以供应多种气体的设备。半导体工艺材料和输送系统方面，包展示了从外部现场（大宗气体系统）到特种气体站房（BSGS、cabinet、bundle、CK）、plenum（cabinet、VMB）和工艺设备等。随着半导体市场近年的快速的增长，默克正在通过并购 (M&A) 和积极投资来增强其电子材料业务能力。ULVAC CRYOGENICS展示了新的低温泵（CRYO-U8SLS/C）。低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，广泛应用于集成电路、平板显示器和OLED的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
高美高COMICO公司首次推出了其原子层沉积（ALD）涂层技术。韩国厂商KCtech正在完善其化学机械抛光 (CMP) 浆料的产品组合，计划将其业务领域扩展到金属浆料和二氧化铈 (CeO2) 浆料。光刻胶公司东进世美肯(Dongjin Semichem)在展会上重点介绍了目前正在量产的氟化氩（ArF）和氟化氪（KrF）材料，该公司于2021年12月22日通过三星EUV光刻胶可靠性测试 ，实现国产化。
