气体圈子讯：启元气体与韩国本土电子气体生产商TEMC于近日签订了A+轮融资协议。据介绍，本次投资还包括业务整合，启元电子特气产品增加到20多种。此外，启元和TEMC将会在中国投资新建特气工厂，项目建成将极大增强国内半导体先进制程所需电子特气的本土供应能力。

TEMC公司成立于2015年1月，准分子激光气体和电子级稀有气体是该公司拳头产品，并且已经成功导入韩国半导体大厂供应链体系。近日，TEMC与POSCO合作开发了韩国首个氖气生产设备，在韩国首次将半导体用稀有气体氖的生产设备和技术本地化。气体圈子数据显示，2021年韩国稀有气体消耗量同比增长了约11倍。电子工业中氪氙气体主要用于3D NAND存储器高深宽比刻蚀工艺，从而实现多层堆叠结构。根据气体圈子发布的《全球电子稀有气体市场研究 2021版》显示，2025年全球电子级氪氖氙气体用量将增加至850ML，同比增长29%。

公开资料显示，启元气体此前已获得投资机构的超亿元A轮投资。该公司目前已实现超高纯氧、高纯氮的现场供气，同时投资运行电子气体精炼中心。其氙气和氪气产品现已进入韩国三星和韩国海力士等供应链；超纯氧产品在中芯国际、长江存储及合肥晶合等半导体终端广泛应用。此前，启元气体于2021年已获得由磐熹资本、北京丰汇泰和、聚合资本和珠海横琴鼎盛联创领投的超亿元A轮投资。

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