高纯氩用于照明技术，填充日光灯、光电管、白炽灯、照明管及飞机制造业；氩用作电弧焊接不锈钢、镁、铝和其它合金的保护气体；氩用于锆、钛、钽、铍、铪、铌、铀、钍等稀有金属的提炼和焊接技术，液氩用于焊接和冶金等。
在半导体材料和器件生产，尤其是制造大规模集成电路，高纯氩气的应用占有重要地位。氩气主要作为稀释气、运载气、保护气、溅射气和激光混合气。也用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。用作标准气、平衡气、零点气等。