高纯氩气的纯化装置简而言之就是对氩气进行精制，目前纯化装置主要的是采用非蒸发型皓铝16为净化机，在一定程度下，吸气剂可以用于氩气中的微量杂质形成稳定的化合物或者固溶物。
高纯氩气的纯化装置可以与区溶单晶炉配套使用可用于激光器、溅射、半导体生产。气相色谱仪、直读光谱仪等特殊 稀有金属等也要用到高纯氩气的生产技术领域，氩气作为一种含量丰富的惰性气体在工业生产中显得日益重要，在形成要求比较严格的惰性氛围中，氩气比氮气更合适。
目前氩气的工业用途和应用比较广泛，常应用在不锈钢生产中，也常用在焊接、金属制造等工业用途上，这表明高纯氩气的纯化是非常有必要的。